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期刊信息
篇名
Deformation measurement of RF MEMS switches by optical interference
语种
英文
撰写或编译
撰写
作者
Yu Ying,Peter Grant
第一作者单位
刊物名称
Microelectronics Reliability
页面
Vol.44, pp951-955
出版日期
2004年
月
日
文章标识(ISSN...