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合肥工业大学微电子学院MEMS智能传感器方向研究领域包括MEMS传感器设计、RF MEMS、多传感器模块集成与信息融合技术、传感器可靠性研究等。近五年承担的科研项目包括国家重点研发、国家自然科学基金、装备预研、安徽省发改委创新研发专项、安徽省重点研发以及企业委托研发类项目。依托安徽省MEMS工程技术研究中心和安徽省MEMS核心器件产业创新中心，组建了具备MEMS设计、工艺、封测与装备试验能力的特色...

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