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上海理工大学在ppb级MEMS气体传感器领域取得重要进展（图）
上海理工大 ppb级 MEMS 气体传感器 Nano Letters 三乙胺 半导体型
2024/10/14
近日，上海理工大学材料与化学学院王丁团队在MEMS气体传感领域取得重要进展，相关研究成果以“Ultrafast and Parts-per-Billion-Level MEMS Gas Sensors by Hetero Interface Engineering of 2D/2D Cu-TCPP@ZnIn2S4 with Enriched Surface Sulfur Vacancie...
SPIE appoints Chris Mack editor of 'Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS'
SPIE Micro/Nanolithography MEMS MOEMS
2011/4/22
SPIE has announced the appointment of renowned lithography expert Chris A. Mack, adjunct faculty member at the University of Texas at Austin, as editor of the Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, a...
冲VTI MEMS技术进军消费电子领域.doc（图）
技术 消费 电子领域
2011/10/31
VTI总裁兼首席执行官Markku Hirvonen表示：“我们正利用在高性能微机电系统领域的专长，计划开发针对消费电子领域的产品，这将挑战当前的市场产品。”
微系统所在MEMS和传感器领域的研发水平有显著提高
传感器 领域 研发水平 提高
2011/11/14
固态传感器、执行器与微系统国际会议(International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 简称Transducers)是国际传感技术领域规模最大的学术会议，其论文挑选之严格，学术水平之高，为国际该领域所共识。自1981年在美国波士顿召开首次会议以来，该会议每两年召开一次，轮流在美洲、欧洲和亚洲（包括...
DALSA成功测试Alchimer公司的eG ViaCoat制程 强化MEMS制造能力
测试 制程 能力
2011/11/4
DALSA旗下的专业与客制化晶圆制造服务供货商DALSA Semiconductor日前宣布，已完成通过法国的纳米金属化技术专家Alchimer公司的eG ViaCoat制程，在穿透硅通孔结构(TSV)上建立均匀铜金属籽晶层的测试。完成这些成功测试后，DALSA计划取得Alchimer的技术授权，以强化其微机电系统(MEMS)制造能力。
信越化学开发出用于微细印刷模版和MEMS模具的硅橡胶
化学开发 印刷模版 硅橡胶
2011/11/3
据日经BP社报道，日本信越化学工业开发出了用于微接触印刷模版和MEMS模具的PDMS（聚二甲基硅氧烷）硅橡胶。在MEMS制造中，将用作形成μ-TAS流路和微细树脂结构的模具。
微接触印刷是亚微米级微细图案的大面积印刷技术，是实现利用印刷技术制造电子元件的“可印刷电子(Printable Electronics)”的技术之一。通过把利用光刻制成的硅或石英制原版的图案转印到PDMS等硅橡胶上，制成印...
奥地利EV Group（EVG）宣布，为形成手机用相机模块高耐热镜头，芬兰Heptagon Oy采用了EVG的光刻机(Mask Aligner)“IQ Aligner”。EVG高级副总裁Hermann Waltl表示，Heptagon采用的是支持300mm晶圆的装置。该装置已提供给Heptagon的制造子公司——新加坡Heptagon Micro-Optics Pte。
14-May-2007，ALBUQUERQUE, N.M. -- Two winners of the third annual University Alliance competition for student microelectromechanical systems (MEMS) designs have been announced by Sandia National Labora...
中国科学院上海微系统与信息技术研究所李昕欣研究员担任IEEE MEMS国际会议程序委员会委员
国际会议 委员
2011/11/22
经过提名和投票选举，MEMS（微电子机械系统）领域 著名国际会议IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems推选我所李昕欣研究员担任 会议Technical Program Committee的委员。该会议每年举 办一届，在美洲、欧洲和亚洲轮流举行，以论文入选难 （录取率在30%左右）和质量高而著称。委员会24名...
中国科学院上海微系统与信息技术研究所MEMS研究成果再一次获得IDEM发表（图）
研究成果 获得 发表
2011/11/21
刚刚于美国旧金山召开的国际电子器件会议（IEDM） 上，我所一项MEMS研究成果获得发表和宣读。IEDM是国际 著名学术会议，52年来，在已经举行的52次会议中，我国 仅有寥寥数篇文章获得发表。这是我所继2004年在IEDM获 得发表后，于今年再一次获得了发表，在此，我们向他们 表示祝贺！