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2024年10月7日上午，希磁科技MEMS智能磁传感器核心器件中试研发项目在市经开区签约。市委书记黄晓武、市长马军出席签约仪式，并与国投招商投资管理有限公司董事总经理陈光、安徽希磁科技股份有限公司董事长王建国等举行工作座谈。市领导郭家满、冯中元参加。
欧亿光电国内首发保偏非级联1x128 MEMS光开关（图）
欧亿光电 保偏非级联 MEMS 光开关
2024/10/14
2024于9月11-13日在深圳国际会展中心（宝安新馆）圆满举办，欧亿光电携64x64 OXC光开关矩阵、便携式光纤光谱分析仪+可调滤波器、保偏1x128光开关和1250~1650nm全波段可调光滤波器TOF等成功参展。
近日，厦门市敬微精密科技有限公司（简称：敬微精密）基于MEMS工艺技术研制的CYH1454606型深海用压力传感器（以下简称CYH1454606型深海传感器）成功完成千米海试，各项指标比肩业界通用的进口传感器，实现卡脖子技术重大突破。
集成光电探测器的可调谐MEMS-VCSEL，可监测输出光功率（图）
集成 光电探测器 MEMS-VCSEL 光功率
2024/10/15
波长连续调谐（扫频）垂直腔面发射激光器（VCSEL）在光学相干层析成像（OCT）、调频连续波（FMCW）激光雷达、智能制造等领域有重要应用。在这些应用中，对可调谐VCSEL进行功率监测至关重要。此外，VCSEL具有单纵模、低功耗、易于二维阵列集成等优点，是垂直集成光子系统的理想光源。在未来用于人工智能（AI）和传感等领域的三维垂直集成光子系统中，具有宽带波长调谐和集成功率监测功能的VCSEL是关键...
中国科学院半导体研究所在可调谐MEMS-VCSEL研究方面取得进展（图）
MEMS VCSEL 调谐
2024/10/25
最近中国科学院半导体研究所郑婉华院士团队刘安金研究组在集成功率监测功能的可调谐MEMS-VCSEL研究方面取得进展。刘安金研究组在2022年采用一种新器件结构和新制作工艺实现单模MEMS-VCSEL（Photonics Research 10，1170，2022，期刊封面论文）的基础上，近期报道了一种集成PD的可调谐MEMS-VCSEL，器件结构如图1所示。在该器件中MEMS可调谐亚波...
中国科学院半导体所在可调谐MEMS-VCSEL研究方面取得进展（图）
智能 激光 集成
2024/8/11
波长连续调谐（扫频）垂直腔面发射激光器（VCSEL）在光学相干层析成像（OCT）、调频连续波（FMCW）激光雷达、智能制造等领域有重要应用。在这些应用中，对可调谐VCSEL进行功率监测至关重要。此外，VCSEL具有单纵模、低功耗、易于二维阵列集成等优点，是垂直集成光子系统的理想光源。在未来用于人工智能和传感等领域的三维垂直集成光子系统中，具有宽带波长调谐和集成功率监测功能的VCSEL是关键器件。
基于MEMS水听器的水下探测系统设计与实现（图）
MEMS 水听器 水下探测 系统设计
2024/10/15
MEMS水听器作为声呐的核心部件，具有灵敏度高、低频特性好的优势，在进行水下探测时，可同时得到水下声场的声压及振速信息，被广泛应用于声呐浮标、无人水下航行器（UUV）等水下平台，实现对水下目标的实时探测。
中国工程院院士蒋庄德：打破国外MEMS技术垄断，为中国智造打好基础（图）
蒋庄德 MEMS 智造 技术垄断
2024/10/15
近日，重庆电视台《重庆专访》栏目，对话中国工程院院士、西安交通大学教授蒋庄德，看他们如何打破国外MEMS技术垄断，为中国智能制造打好基础。
基于微机电系统（MEMS）微纳加工技术的生物芯片（Bio-Chip）属于生物医学与集成电路的交叉融合创新领域，可以实现器件和系统的微型化，能显著提升生物医学的诊断和治疗能力，具有自动化、高通量、更快捷和损伤更小等优点。纳米孔基因测序芯片是生物芯片的重要应用之一，作为纳米孔测序仪的核心检测单元，在基因测序的速度、精度、成本和便携性等方面具有明显优势。作为“超越摩尔”集成电路核心工艺部署方向之一，上海...
上海微系统所在IEEE MEMS 2024国际会议中再创佳绩（图）
微纳传感器 微纳加工 集成
2023/12/2
MEMS是当今微纳传感器制造的主流技术，该领域规模最大的国际顶级学术会议IEEE MEMS（IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems），每年一届在美洲、欧洲和亚洲轮流举行，至今已举办36届。该会议是微机电系统领域最高级别的国际学术会议，主要报道微纳加工与集成、微纳传感器与执行器、以及微系统等方面的研究新进展。
近日，合肥工业大学微电子学院集成电路与系统专业2019级博士生杨朝晖以第一作者身份在综合类Top期刊《IEEE Sensors Journal》发表题为“Fast response infrared detector using a radially distributed dual-layer thermopile”的学术论文。微电子学院安徽省MEMS工程技术研究中心团队许高斌教授为论文的通讯作...
微机电系统（MEMS）器件具有小型化、低成本、可批量生产的特点，在消费电子、汽车电子、航空航天、医疗器械和工业控制等多个领域的广泛应用，使得其在现代社会中发挥着重要作用。随着科技的进步，各领域对MEMS器件性能的要求越来越严格。因此，MEMS相关研究的主要目标是开发出性能更好的器件。近日，中国科学院空天信息创新研究院传感技术国家重点实验室联合中国科学院大学电子电气与通信工程学院的研究人员提出了一种...
面向大批量、低成本市场开发MEMS传感技术的先驱Omnitron Sensors，近日宣布将与赛微电子旗下Silex Microsystems合作量产用于激光雷达（LiDAR）的MEMS扫描镜。Omnitron Sensors联合创始人、首席执行官（CEO）Eric Aguilar表示：“我们注意到汽车高级驾驶辅助系统（ADAS）、无人机及其他机器人系统制造商对低成本、高可靠的激光雷达有着巨大的需...
振动能量采集器因其可代替电池，收集环境中振动能为IOT设备提供能源，近年来受到广泛关注。而在IOT设备应用的典型场景-工业环境中，高温度及高湿度极端环境无处不在。静电型振动能量采集器内部预充电电荷受极端环境影响容易衰减，这对能量采集器的大规模应用造成极大挑战。针对这一问题，南方科技大学深港微电子学院汪飞副院长率领团队研发了一款基于MEMS技术制造的，集成了硅针尖阵列的电荷可修复型静电能量采集器。当...
深海MEMS气相色谱仪完成南海海试（图）
气相色谱仪 深海MEMS 南海海试
2022/8/31
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室研究员冯飞团队与中科院深海科学与工程研究所联合研制的深海MEMS气相色谱仪，完成了2022年南海海试。