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东北大学干式真空泵突破IC制造瓶颈
东北大学 干式真空泵突破IC制造
2016/3/24
2016年3月23日，记者在东北大学获悉，该校自主研发的干式真空泵达到国际先进水平，对水电能耗分别降低了31.2%和27.6%，污水处理量减少了99.5%，为中国IC制造业快速健康发展扫清了障碍。据介绍，干式真空泵是IC装备行业清洁真空获得设备，也是保障行业发展的重要装备。由于IC装备洁净真空环境获得技术集成了稀薄气体流体力学、真空技术、微电子装备、精密流体机械加工技术、自动控制技术等多个学科的前...