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东北大学干式真空泵突破IC制造瓶颈
东北大学 干式真空泵突破IC制造
2016/3/24
2016年3月23日，记者在东北大学获悉，该校自主研发的干式真空泵达到国际先进水平，对水电能耗分别降低了31.2%和27.6%，污水处理量减少了99.5%，为中国IC制造业快速健康发展扫清了障碍。据介绍，干式真空泵是IC装备行业清洁真空获得设备，也是保障行业发展的重要装备。由于IC装备洁净真空环境获得技术集成了稀薄气体流体力学、真空技术、微电子装备、精密流体机械加工技术、自动控制技术等多个学科的前...
使用RCFP-IC对南京市不同污染状况下PM2.5中水溶性离子的观测分析
南京 霾 RCFP-IC 水溶性离子
2015/11/5
本文使用大气细颗粒物快速捕集系统及化学成分在线分析系统(RCFP-IC)和美国热电污染气体分析系统(EMS系统)对2013年11月16日-12月10日南京地区PM2.5中主要水溶性离子和污染气体进行了观测分析,并结合气象要素数据分析了灰霾天PM2.5中主要水溶性离子的污染特征.结果表明:不同污染条件下PM2.5中水溶性离子分布差异较大,清洁天浓度最大的6种离子排序为SO42- > NO3- > N...
LZF型智能IC卡排污监控管理系统
IC卡管理信息系统 监视控制 污水排放
2008/10/28
LZF型智能IC卡排污监控管理系统是江苏省环保厅环保科技计划项目，具有自主知识产权。LZF型智能IC卡排污监控管理系统集流量计算、总量控制、排污收费管理于一体，配置了阀门自动控制、远程实时控制、数据利用等硬件和软件管理系统，满足了分类管理的要求，为实现排污许可控制、排污费上门缴纳提供了技术支持，解决了长期困扰环保部门对污水计量难准、总量难控、征费难收、监督难管的诸多问题。该系统采用计算机网络、GS...