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GaN是第三代半导体材料，用其制备的激光器和发光二极管可广泛用于高密度信息存储、全彩显示和半导体照明。MOCVD设备则是GaN基光电子器件最关键的制造设备，但其技术及市场被欧美日少数发达国家垄断和封锁，成为制约我国半导体光源产业发展的主要瓶颈。本项目形成了国内首套完全自行源代码级开发的，基于计算流体力学的MOCVD反应室中流动/传热/反应的虚拟仿真系统，为MOCVD设备的研制及工艺设计提供了良好的...
