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基于模糊预测的MOCVD温度控制方法
模糊预测控制 温度控制 控制算法
2009/5/31
为解决金属有机化合物化学气相淀积(MOCVD)设备温度控制的非线性、时变性以及大滞后等问题，给出了一种用模糊控制和预测控制相结合的复合控制方法．该模糊预测控制在模糊控制的基础上加入预测环节，通过增加相位超前减少时间滞后所带来的影响，准确预测温度变化趋势．与传统的控制方法相比较，具有算法简单，鲁棒性好的特点．仿真和试验表明，该方法有着较高的稳态精度和动态特性，在整个温度控制范围基本误差可达到1℃‰，...