搜索结果: 1-10 共查到“控制科学与技术 MEMS”相关记录10条 . 查询时间(0.062 秒)
MEMS磁力线聚集和垂动调制磁场传感器
调制效率 磁力线聚集器 磁场传感器 微机电系统
2016/6/7
针对巨磁阻和磁隧道结等磁阻元件的1/f噪声，提出一种采用微机电系统的磁力线聚集和垂动调制磁场传感器。通过将被测磁场从低频转移到几kHz，实现对磁场的DC/AC转化，从而减小了磁阻元件的1/f噪声。基于该方案采用多层膜巨磁阻元件AA002制作了磁场传感器样品，并进行了实验测试，结果表明：磁传感器样品的调制效率达到了19.3%，超过了已有的其他各种调制方案，同时低频磁场的探测能力达到120pT/√Hz...
以炮射火箭弹的MEMS-INS/GNSS组合导航系统为研究对象，在奇异值法分析系统可观性的基础上，提出了系统状态的等效奇异值概念，作为系统状态可观性的度量标准。在此基础上，重点分析了火箭弹在无控、俯仰机动以及偏航机动3种弹道条件下的姿态角误差的等效奇异值(可观性)的变化规律，并据此得出：滚转角误差在弹体机动时可观性较好；当弹体所在垂面存在较大的加速度时，俯仰角误差可观性较好；方位角误差在弹体水平加...
一种CMOS集成MEMS片上螺旋电感设计与仿真
MEMS 片上螺旋电感 COMS集成 Q值
2014/4/4
设计了一种与CMOS工艺兼容的MEMS片上螺旋电感。电感为矩形平面螺旋线圈结构,并采用电导率较高的铜代替铝制作线圈。利用MEMS技术设计了厚金属线圈,同时在CMOS级低阻硅衬底中刻蚀空腔,减小了线圈的串联电阻和衬底损耗,提高了电感的Q值。设计了与CMOS工艺相兼容的低温MEMS工艺和基于该工艺的1nH电感模型。使用HFSS软件对该电感模型进行仿真,结果表明,该电感在仿真频率为6.6GHz和10GH...
基于IP库的MEMS设计系统
MEMS IP库 虚拟工艺 虚拟运行
2014/5/15
针对MEMS设计系统中机械性能仿真不足、设计与加工脱节、缺少工艺验证等问题，借鉴了IC设计可重用思想，引入了具有知识产权的功能模块——IP的概念，提出了基于IP库的MEMS设计方法。该方法是Top-Down和Bottom-Up设计相结合的方法，其核心是MEMS IP库，关键技术包括IP库、虚拟工艺、虚拟运行等，分别对应IP管理、工艺级仿真系统以及器件行为级仿真系统。最后以电容式微加速度计设计为例，...
基于MEMS加速度计的车用自动呼救系统
自动呼救 MEMS加速度计 碰撞 侧翻
2014/5/7
提出设计一种使车祸伤员得到及时准确救助的自动呼救系统，它能够自动识别车祸并向Web GIS监控中心发送事故信息。该系统的车载终端利用高抗冲击性的三轴MEMS加速度计，通过三向加速度合成算法和倾角测量对车辆的行驶状态进行监测，能在GPS盲区下进行车辆精确定位。车载终端一旦检测出车祸及类型，会由ARM自动触发求救，也可手动按钮求救。经模型车实验表明，系统能有效避免由于路面干扰引起的误报，并准确检测出碰...
基于MEMS的消化道诊疗系统
MEMS 消化道 诊疗系统
2008/12/15
基于微型机械电子技术（MEMS）、无线通讯技术、遥测遥控技术、微传感器等技术开发的消化道诊疗的无创微型医疗仪器，主要应用于临床诊断治疗和制药领域，当前产品主要包括定点药物释放系统和消化道微型采样系统。定点药物释放系统是新药开发中进行人体药物吸收研究的重要手段，也是无创进行消化道靶向治疗的有力工具，定点药物释放系统推动了人体药物吸收研究的迅猛发展，自2000年以来国际市场每年以30%的份额增长，而国...
基于专家系统技术的MEMS虚拟工艺库
虚拟工艺 专家系统 微电子机械系统
2007/12/6
Abstract虚拟工艺是MEMS器件计算机辅助设计中对工艺过程仿真的部分,根据版图设计、层定义和工艺文件来生成器件模型,并进行三维模型显示.本文在虚拟工艺库中引入了专家系统的技术,将已有的工艺知识分别描述成专家系统知识库中的规则,推理机部分与知识库分离,使系统有较好的可扩充性.本文给出了一个剖面图的实例,证明其可行性.
14-May-2007，ALBUQUERQUE, N.M. -- Two winners of the third annual University Alliance competition for student microelectromechanical systems (MEMS) designs have been announced by Sandia National Labora...
哈尔滨工业大学机器人研究所MEMS研究获得新成果（图）
哈尔滨工业大学 机器人 MEMS
2007/1/30
哈尔滨工业大学学报2007年1月29日讯：由哈尔滨工业大学机器人研究所孙立宁教授主持完成的“面向MEMS组装、封装与键合测试的关键微操作设备”项目于日前通过了技术鉴定，鉴定委员会由7名国内知名MEMS专家组成，王立鼎院士担任鉴定委员会主任。该项成果针对MEMS小批量、多品种的特点，采用光、机、电及工艺系统集成技术，研制出具有自主知识产权的MEMS批量组装设备、MEMS自动引线键合设备和硅片键合强度...