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1-2
共查到
“
半导体器件与技术 MEMS
”
相关记录2条 . 查询时间(0.062 秒)
南方科技大学深港微电子学院汪飞课题组在
MEMS
静电能量采集器领域取得新进展(图)
汪飞
MEMS
静电
能量采集器
IEEE Electron Device Letters
2023/11/29
振动能量采集器因其可代替电池,收集环境中振动能为IOT设备提供能源,近年来受到广泛关注。而在IOT设备应用的典型场景-工业环境中,高温度及高湿度极端环境无处不在。静电型振动能量采集器内部预充电电荷受极端环境影响容易衰减,这对能量采集器的大规模应用造成极大挑战。针对这一问题,南方科技大学深港微电子学院汪飞副院长率领团队研发了一款基于
MEMS
技术制造的,集成了硅针尖阵列的电荷可修复型静电能量采集器。当...
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文献传递
RF
MEMS
开关吸合电压的分析
RF
MEMS
开关
2008/10/22
吸合电压是
MEMS
静电执行器的重要参数,针对RF
MEMS
开关,详细分析了开关在不同执行方式下的吸合电压. 对于执行电压是脉冲方式而言,开关梁受迫振动,不同于准静态方式,此时使开关发生吸合的执行电压为动态吸合电压,计算表明比准静态吸合电压小8%. 通过简化的弹性系数和精确的电容计算公式,详细分析了基于CPW的双端固支梁开关的准静态和动态吸合电压. 分析了环境阻尼对动态吸合电压的影响,阻尼使得开关的...
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