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在中国科学院和广东省共同支持下,由中科院半导体研究所负责研制开发的国内首台48片MOCVD样机取得重大进展。
第十一届全国MOCVD学术会议在苏州召开(图)
第十一届 MOCVD 学术会议
2010/1/25
用MOCVD技术生长GaN: Mg外延膜,在550 ~ 950℃温度范围内,对样品进行热退火,并进行室温Hall、光致发光谱(PL)测试.Hall测试结果表明,850℃退火后空穴浓度达到8e17cm-3以上,电阻率降到0.8Ω·cm以下. 室温PL谱有两个缺陷相关发光峰,位于2.8eV的蓝光峰(BL)以及3.27eV附近的紫外峰(UVL) .蓝光峰对紫外峰的相对强度(BL/UVL)在550℃退火后...
用MOCVD方法在GaAs衬底上低温生长ZnO薄膜
MOCVD ZnO薄膜 GaAs 低温
2008/3/16
采用二乙基锌(DEZn)和水(H2O)作为生长源,利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)的方法,在100~400℃低温范围内,在GaAs (001)衬底上制备了ZnO薄膜. 利用X射线衍射(XRD), 室温PL, AFM, SEM研究了薄膜的晶体结构特性、发光特性及表面形貌特性. XRD分析表明ZnO薄膜具有很强的c轴取向,(002)峰的FWHM平均值为0.3. .当生长温度达到400℃时从SEM...
MOCVD制备InxGa1-xN/GaN MQWs的温度依赖性
2007/8/20
利用方势阱模型对InxGa1-xN/GaN MQWs结构的光特性进行了量子力学定性理论分析.并在MO源流量恒定条件下,在570℃~640℃范围内进行了不同生长温度的多量子阱制备实验,对InxGa1-xN制备过程中的In组份掺入效率的温度依赖关系进行研究.通过对制备样品的PL谱测量分析,得到了587℃~600℃的In组份最佳掺入温度区间.
中国科学院半导体研究所在“863”计划等项目的支持下,成功研制出具有自主知识产权的研发型MOCVD设备样机,并生产出性能优良的氮化镓材料。为了将这一成果早日实现国产设备产业化,2006年4月11日,该所与秦皇岛市政府、河北鹏远集团签订了半导体照明重大装备MOCVD项目合作协议。
Direct Growth of High-Quality InP Layers on GaAs Substrates by MOCVD
Metamorphic buffer layer LP-MOCVD HEMT
2010/12/7
In this report, we have overcome the drawback of surface roughness of metamorphic buffer layer by LP-MOCVD technique and have grown InP metamorphic buffer layers with various thickness on misoriented ...
MOCVD-Grown InGa/GaAs Emitter Delta Doping Heterojunction Bipolar Transistors
Delta doping Heterojunction bipolar transistor
2010/12/7
The influence of delta doping sheet at base-emitter (BE) junction for an InGaP/GaAs heterojunction bipolar transistor (HBT) with a 75Å undoped spacer layer is investigated. A common emitter curr...
Negative Differential Resistance Behavior in Delta-Doped AlInP Structure Grown by MOCVD
Delta-doped Resonant interband tunneling (RIT)
2010/12/7
An AlInP delta-doped schottky diode exhibiting negative differential resistance (NDR) behavior is demonstrated for the first time. The NDR characteristics with a peak to valley ratio of 5.5 and peak c...
Characteristics of MOCVD-Grown High-Quality CdTe Layers on GaAs Substrates
MOCVD-Grown High-Quality CdTe Layers GaAs Substrates
2010/12/14
CdTe epitaxial layers are grown successfully on a (100)-GaAs substrate by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) using dimethylcadrnium (DMCd) and diethyltelluride (DETe) as alkyl sources. The...