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研制了用于X射线测量的化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜探测器。该探测器灵敏区直径为15 mm、厚度300 μm，其暗电流在800 V偏压下小于50 pA，且暗电流电压曲线线性较好。就CVD金刚石探测器对不同能量X射线的响应及脉冲X射线时间响应进行了理论和实验研究。结果表明：该探测器对6~22 keV X射线具有10-4~10-2 A·W-1的灵敏度，假设电荷收集效率为39...
CVD金刚石核探测材料与器件
器件 核探测材料CVD金刚石
2008/10/13
金刚石膜因其优异的电学、光学等性能已成为优越的辐射探测器材料,但探测器性能强烈地依赖于薄膜质量。本工作利用热丝化学气相沉积(HFCVD)法获得了(100)取向不同质量的金刚石薄膜,并制备了CVD金刚石辐射探测器。应用5.9keV55FeX射线测试了探测器的光电流响应和脉冲高度分布。50kV/cm外电场作用下晶粒为10μm的CVD金刚石探测器的暗电流和光电流分别为16.3和16.8nA。光电流随辐...