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Deposited indium-tin-oxide (ITO) transparent conductive films by reactive low-voltage ion plating (RLVIP) technique
ITO film RLVIP Optical transmittance Infrared reflectance Sheet resistance
2011/12/7
Indian-tin-oxide ITO transparent conductive films were deposited by the Reactive low-voltage ion plating (RLVIP) technique. CO2 and O2 gases were used as reactive gases coming into the vacuum. The eff...
脉冲偏压电弧离子镀低温沉积TiN硬质薄膜的力学性能
2007/7/28
期刊信息
篇名
脉冲偏压电弧离子镀低温沉积TiN硬质薄膜的力学性能
语种
中文
撰写或编译
作者
黄美东,孙超,林国强,董闯,闻立时
第一作者单位
刊物名称
金属学报
页面
2003年5月，第39卷第5期P516~520
出版日期
2003年
5月
日
文章标识(ISSN)
相关项目
电孤离子镀（Ti,M〕N硬质薄膜与硬质梯度薄膜研究