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集成MEMS移相器缝隙耦合相控阵天线 MEMS移相器开关线型移相器 MEMS开关单片集成相控阵天线 2015/12/26

研究了相控阵天线系统使用的MEMS移相器的结构设计以及与耦合馈电相控天线阵的集成方法。根据相移原理和波束扫描原理,提出了移相器传输线的长度计算方法;对悬臂梁结构的MEMS开关进行设计,总结了优化开关结构的途径;最后给出了MEMS移相器与耦合馈电天线阵的集成方法。提出的制作工艺简单易于实现。结果显示:优化的MEMS开关在25 GHz频率内插入损耗小于0.2 dB,隔离度大于-15 dB;移相器在15...