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集成光电探测器的可调谐MEMS-VCSEL，可监测输出光功率（图）
集成 光电探测器 MEMS-VCSEL 光功率
2024/10/15
波长连续调谐（扫频）垂直腔面发射激光器（VCSEL）在光学相干层析成像（OCT）、调频连续波（FMCW）激光雷达、智能制造等领域有重要应用。在这些应用中，对可调谐VCSEL进行功率监测至关重要。此外，VCSEL具有单纵模、低功耗、易于二维阵列集成等优点，是垂直集成光子系统的理想光源。在未来用于人工智能（AI）和传感等领域的三维垂直集成光子系统中，具有宽带波长调谐和集成功率监测功能的VCSEL是关键...
中国科学院半导体研究所在可调谐MEMS-VCSEL研究方面取得进展（图）
MEMS VCSEL 调谐
2024/10/25
最近中国科学院半导体研究所郑婉华院士团队刘安金研究组在集成功率监测功能的可调谐MEMS-VCSEL研究方面取得进展。刘安金研究组在2022年采用一种新器件结构和新制作工艺实现单模MEMS-VCSEL（Photonics Research 10，1170，2022，期刊封面论文）的基础上，近期报道了一种集成PD的可调谐MEMS-VCSEL，器件结构如图1所示。在该器件中MEMS可调谐亚波...