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During rapid thermal processing (RTP) of a semiconductor wafer, maintenance of near-uniform wafer temperature distribution is necessary. This paper addresses the problem of insuring temperature unifor...
A first-principles low-order model of rapid thermal processing of semiconductor wafers is derived. The nonlinear model describes the steady-state and transient thermal behavior of a wafer with approxi...
2005Vol.44No.5pp.921-924DOI: Thermal Expansion Coefficients of Thin Crystal Films HUANG Jian-Ping, WU Xue-Zhong, and LI Sheng-Yi Mechatronics Engineering Institute, Nati...
期刊信息 篇名 Lattice distortion and thermal stability of nanocrystalline copper 语种 英文 撰写或编译 撰写 作者 周浪,魏秀琴,周耐根 第一作者单位 南昌大学 刊物名称 Computational Materials Science. 30. 314~319 2004.08 页面 出版日期 2004年 8月 日 文章标识(IS...
期刊信息 篇名 Thermal coefficients of the electrical resistivity of Ge nanocrystals on Si for infrared detectors 语种 英文 撰写或编译 撰写 作者 Xiying Ma,Weilin Shi 第一作者单位 绍兴文理学院 刊物名称 Optics Communications 页面 Vol.238,30...
期刊信息 篇名 Effects of Irradiation on the Melting and Crystallization Behavir of Ethlene Polymers with Different Thermal History 语种 英文 撰写或编译 作者 滕洪祥,董文飞,史燚,金熹高 第一作者单位 刊物名称 Journal of Applied Polymer Scienc...
Chalcogenide glasses Se-Te have been prepared from the high purity constituent elements. Thin films of these materials have been deposited by vacuum evaporation. The thickness effects on the optical p...
It is shown, that Bose-Einstein condensation can occur not only in spatially extended equilibrium systems, but also in the systems far from thermal equilibrium, which show order-disorder phase trans...

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