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上海理工大学在ppb级MEMS气体传感器领域取得重要进展（图）
上海理工大 ppb级 MEMS 气体传感器 Nano Letters 三乙胺 半导体型
2024/10/14
近日，上海理工大学材料与化学学院王丁团队在MEMS气体传感领域取得重要进展，相关研究成果以“Ultrafast and Parts-per-Billion-Level MEMS Gas Sensors by Hetero Interface Engineering of 2D/2D Cu-TCPP@ZnIn2S4 with Enriched Surface Sulfur Vacancie...
2024年10月7日上午，希磁科技MEMS智能磁传感器核心器件中试研发项目在市经开区签约。市委书记黄晓武、市长马军出席签约仪式，并与国投招商投资管理有限公司董事总经理陈光、安徽希磁科技股份有限公司董事长王建国等举行工作座谈。市领导郭家满、冯中元参加。
南京理工大学成果：MEMS惯性传感器设计与工艺（图）
南京理工大 MEMS 惯性传感器
2024/10/14
针对高精度、高性能MEMS加速度计、陀螺仪的全国产化设计与制造需求，在高精度、高性能加速度计、陀螺仪的结构设计、晶圆级制造工艺检测、先进封装、专用集成电路等方面开展研究，突破了全自主、全国产中高端MEMS惯性器件流片工艺，核心指标接近甚至部分超越国际主流产品，解决“卡脖子”问题。主要产品及技术参数如下：1）MEMS陀螺仪：具有<1%地球转速分辨能力，定向精度优于1°，零偏不稳定性及寻北精度接近以H...
欧亿光电国内首发保偏非级联1x128 MEMS光开关（图）
欧亿光电 保偏非级联 MEMS 光开关
2024/10/14
2024于9月11-13日在深圳国际会展中心（宝安新馆）圆满举办，欧亿光电携64x64 OXC光开关矩阵、便携式光纤光谱分析仪+可调滤波器、保偏1x128光开关和1250~1650nm全波段可调光滤波器TOF等成功参展。
近日，厦门市敬微精密科技有限公司（简称：敬微精密）基于MEMS工艺技术研制的CYH1454606型深海用压力传感器（以下简称CYH1454606型深海传感器）成功完成千米海试，各项指标比肩业界通用的进口传感器，实现卡脖子技术重大突破。
集成光电探测器的可调谐MEMS-VCSEL，可监测输出光功率（图）
集成 光电探测器 MEMS-VCSEL 光功率
2024/10/15
波长连续调谐（扫频）垂直腔面发射激光器（VCSEL）在光学相干层析成像（OCT）、调频连续波（FMCW）激光雷达、智能制造等领域有重要应用。在这些应用中，对可调谐VCSEL进行功率监测至关重要。此外，VCSEL具有单纵模、低功耗、易于二维阵列集成等优点，是垂直集成光子系统的理想光源。在未来用于人工智能（AI）和传感等领域的三维垂直集成光子系统中，具有宽带波长调谐和集成功率监测功能的VCSEL是关键...
中国科学院半导体研究所在可调谐MEMS-VCSEL研究方面取得进展（图）
MEMS VCSEL 调谐
2024/10/25
最近中国科学院半导体研究所郑婉华院士团队刘安金研究组在集成功率监测功能的可调谐MEMS-VCSEL研究方面取得进展。刘安金研究组在2022年采用一种新器件结构和新制作工艺实现单模MEMS-VCSEL（Photonics Research 10，1170，2022，期刊封面论文）的基础上，近期报道了一种集成PD的可调谐MEMS-VCSEL，器件结构如图1所示。在该器件中MEMS可调谐亚波...
中国科学院半导体所在可调谐MEMS-VCSEL研究方面取得进展（图）
智能 激光 集成
2024/8/11
波长连续调谐（扫频）垂直腔面发射激光器（VCSEL）在光学相干层析成像（OCT）、调频连续波（FMCW）激光雷达、智能制造等领域有重要应用。在这些应用中，对可调谐VCSEL进行功率监测至关重要。此外，VCSEL具有单纵模、低功耗、易于二维阵列集成等优点，是垂直集成光子系统的理想光源。在未来用于人工智能和传感等领域的三维垂直集成光子系统中，具有宽带波长调谐和集成功率监测功能的VCSEL是关键器件。
基于MEMS水听器的水下探测系统设计与实现（图）
MEMS 水听器 水下探测 系统设计
2024/10/15
MEMS水听器作为声呐的核心部件，具有灵敏度高、低频特性好的优势，在进行水下探测时，可同时得到水下声场的声压及振速信息，被广泛应用于声呐浮标、无人水下航行器（UUV）等水下平台，实现对水下目标的实时探测。
机械光开关&MEMS光开关（图）
机械光开关 MEMS光开关 光路 光纤通信
2024/10/17
光纤通信系统中，光开关（Optical Switch，OS）主要用于光路中实现光信号的物理切换或其他逻辑操作，多用于光交叉连接OXC（Optical Cross－connect）技术中作为切换光路的关键器件。
中国工程院院士蒋庄德：打破国外MEMS技术垄断，为中国智造打好基础（图）
蒋庄德 MEMS 智造 技术垄断
2024/10/15
近日，重庆电视台《重庆专访》栏目，对话中国工程院院士、西安交通大学教授蒋庄德，看他们如何打破国外MEMS技术垄断，为中国智能制造打好基础。
基于微机电系统（MEMS）微纳加工技术的生物芯片（Bio-Chip）属于生物医学与集成电路的交叉融合创新领域，可以实现器件和系统的微型化，能显著提升生物医学的诊断和治疗能力，具有自动化、高通量、更快捷和损伤更小等优点。纳米孔基因测序芯片是生物芯片的重要应用之一，作为纳米孔测序仪的核心检测单元，在基因测序的速度、精度、成本和便携性等方面具有明显优势。作为“超越摩尔”集成电路核心工艺部署方向之一，上海...
MEMS压力传感器的原理与应用
MEMS 压力传感器 微电子 机械系统
2024/10/17
MEMS是Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。MEMS技术被誉为21世纪具有革命性的高新技术之一，可追溯至20世纪50年代。微电子机械系统(MEMS)技术是指对微米/纳米材料进行设计、制造、测量和控制的技术。MEMS压力传感器是利用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、键合等技术)相结合的制造工艺，制造的压力传感器。MEMS压力...
MEMS麦克风（Micro-Electro-Mechanical Systems Microphone）是一种基于微机械结构的声学传感器，它的工作原理涉及到微小的机械振动和与之相关的电学信号转换。以下是MEMS麦克风的简要工作原理：振膜感应振动；振膜与电极之间的空气隙缝变化；电容的变化；电极之间的电流变化；模数转换，通过这些过程，MEMS麦克风将声音信号转换为电学信号，从而实现声音的捕捉和传递。M...
本发明涉及一种基于MEMS芯片的气敏材料快速筛选装置及方法，所述装置由集成MEMS芯片、测试腔体、液晶操作屏、功能控制模块、ARM板卡、锂电池、气泵、充电插口、SD卡插槽、电源开关和外壳于一体机：MEMS芯片集成了多通道采集和自加热，为敏感材料提供检测基底和信号采集端口；测试腔体用于固定MEMS芯片并为其提供包括温度、气氛和光照可控及湿度可监测的测试环境；功能控制模块连接ARM板卡，用于为红外测温...