搜索结果: 1-9 共查到“MOEMS”相关记录9条 . 查询时间(0.078 秒)
大尺寸垂直梳齿驱动MOEMS扫描镜
微光机电系统 扫描微镜 垂直梳齿驱动器 体硅工艺
2014/3/14
提出了一种采用垂直梳齿驱动器驱动的大尺寸、大扭转角度、低驱动电压微光机电系统（MOEMS）扫描镜。理论分析了垂直梳齿驱动器的工作原理，研究了垂直梳齿的制作工艺，采用体硅加工工艺结合硅-硅键合工艺制作了垂直梳齿驱动的MOEMS扫描镜。制作的扫描镜镜面尺寸为3 mm×2 mm，谐振频率为1.32 kHz。测试表明,该扫描镜镜面具有很好的光学表面，其表面粗糙度的均方根只有8.64 nm；扫描镜在驱动电压...
MOEMS微镜面阵光谱仪的优化设计与实验
分辨率 微镜 光谱仪 MOEMS
2012/4/13
MOEMS(micro optical electronic mechanical system)微镜面阵光谱仪主要利用微镜面阵分时选通实现单个探测器光谱测量，具有无需斩波器实现脉冲信号输出，无需机械模板实现哈达吗调制，象元分辨率高，体积小，成本低等优点。针对MOEMS微镜面阵光谱仪设计中，狭缝尺寸与光通量之间的矛盾，本文系统深入的分析该光谱仪微型结构引入的新影响因素，获取最优值，实现光谱分辨率改...
针对近红外光谱仪由于红外CCD导致的红外光谱仪高成本问题，提出用MOEMS微镜阵列进行光路结构改进，并且解决了红外光谱仪成像像斑不规则从而难以采用MOEMS微镜阵列进行光谱扫描的问题，设计了一种新的分光成像结构。该结构基于全息凹面光栅理论来规则光谱成像的像斑，采用光学设计软件ZEMAX和针对特定像差评判标准的优化算法，按照像斑规则化的要求设计并优化了光路结构。该光路结构中的平场全息凹面光栅工作波长...
采用惯性力与简谐振子相垂直及差动检测技术的方法，设计基于光弹效应的三分量加速度地震检波器简谐振子。对于简谐振子中的双M-Z干涉仪而言，光功率的均分和光的单模传输是实现正确检测加速度的基础。介绍了M-Z干涉仪的结构和工作原理。用波导光学模拟软件OptiBPM v9.0对双M-Z干涉仪光场传输进行仿真，得到双M-Z干涉仪的光场传输图。从仿真结果可以看出，从激光器LD发出的光经过双M-Z干涉仪后，1/4...
SPIE appoints Chris Mack editor of 'Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS'
SPIE Micro/Nanolithography MEMS MOEMS
2011/4/22
SPIE has announced the appointment of renowned lithography expert Chris A. Mack, adjunct faculty member at the University of Texas at Austin, as editor of the Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, a...
MOEMS微型二维扫描镜的建模与仿真
微光机电系统 二维扫描镜 动力学模型 有限元
2014/5/15
微型二维扫描镜是一种基于微光机电系统（MOEMS）技术的新型偏转扫描装置，与传统扫描装置相比具有体积小、功耗低、扫描频率高等优点。给出了一种MOEMS微型二维扫描镜的设计方案，建立了二阶振动系统的动力学模型，推导了系统刚度和扫描频率的计算式，以及MOEMS微型二维扫描镜在两个方向上的最大偏转角。采用有限元方法对系统进行了模态仿真、谐响应分析和应力仿真，分析结果均符合设计要求，验证了该方案的可行性和...
提出一种新型的利用空间光路敏感Sagnac效应的谐振式MOEMS陀螺，设计了利用微镜构成的光学谐振腔。此结构具有小型化优势，可利用MOEMS工艺进行加工。理论分析了光源及谐振腔参数对陀螺基本探测极限的影响，指导参数设计，得到陀螺的极限灵敏度为1.54 o/h。通过模式匹配理论对谐振腔型式进行了改进，减小了谐振腔损耗。进行了谐振腔原理验证实验，观察到谐振曲线。最后对微谐振腔的加工工艺进行了讨论。
1.55 μm MOEMS可调谐光滤波器调谐性能模拟
MOEMS 可调谐滤波器 Fabry-Perot 表面微机械
2007/12/9
建立了等效单层梁模型和一维集总模型，用经典力学理论和传输矩阵方法模拟了多层材料构成且具有四臂固支梁结构的1.55 μm Si基MOEMS (Micro-Opto-Electro-Mechanical-Systems)可调谐滤波器的调谐特性.模拟调谐系数与实验结果吻合较好.
Behavioral Modeling for Simulation of MOEMS Systems
Behavioral Modeling Simulation MOEMS Systems
2010/7/16
Integrated MOEMS systems are a rapidly growing field with great potential. Accurate simulation of MOEMS systems will allow analysis and optimization of system performance before costly and time-consum...