搜索结果: 1-15 共查到“电子科学与技术 MEMS”相关记录60条 . 查询时间(0.093 秒)
上海理工大学在ppb级MEMS气体传感器领域取得重要进展(图)
上海理工大 ppb级 MEMS 气体传感器 Nano Letters 三乙胺 半导体型
2024/10/14
中国科学院半导体所在可调谐MEMS-VCSEL研究方面取得进展(图)
智能 激光 集成
2024/8/11
波长连续调谐(扫频)垂直腔面发射激光器(VCSEL)在光学相干层析成像(OCT)、调频连续波(FMCW)激光雷达、智能制造等领域有重要应用。在这些应用中,对可调谐VCSEL进行功率监测至关重要。此外,VCSEL具有单纵模、低功耗、易于二维阵列集成等优点,是垂直集成光子系统的理想光源。在未来用于人工智能和传感等领域的三维垂直集成光子系统中,具有宽带波长调谐和集成功率监测功能的VCSEL是关键器件。
东南大学MEMS教育部重点实验室
东南大学MEMS教育部重点实验室 微电子学
2022/5/7
东南大学1983年开始集成传感器的研究,并于1985年在欧洲固态电子器件会议《ESSDERC¢85,Germany, p.88》报道了集成MOS流量传感器的研究结果;1986年开始了硅片直接键合技术研究,并于1987年在《Applied Surface Science,30(2),397(1987)》报道了硅键合材料的测试结果;1987年开始了微传感器CAD研究,并于1988年在《Solid St...
基于宽禁带氧化物半导体薄膜材料的MEMS传感器研发(图)
宽禁带氧化物半导体薄膜材料 MEMS传感器
2022/5/30
东南大学电子学院牵头国家重点研发计划“硅基MEMS高能量密度薄膜锂离子电池”项目启动暨实施方案论证会顺利召开(图)
东南大学电子学院 国家重点研发计划 硅基MEMS 高能量密度 薄膜 锂离子电池 无线传感网 论证会
2022/5/7
国内领先的硅光子平台和MEMS工艺平台开始对外服务(图)
硅光子平台 MEMS工艺 对外服务
2017/5/31
近日,中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心对外发布了基于8英寸CMOS工艺线的硅光子平台和MEMS工艺平台,开始面向国内外企业开展技术服务,标志着我国在硅光子和MEMS领域的研发能力大幅提高,将显著提升企业和科研机构在上述领域的研发进度。硅光子技术是在后摩尔时代微电子与光电子融合趋势下发展起来的新型技术,它利用成熟的CMOS技术和平台并基于硅基材料进行光电器件和芯片的开发与生产。硅光子不...
MEMS开关宽频程控步进衰减器设计与实现
MEMS开关 射频衰减器 Q值匹配
2016/12/17
提出了一种基于MEMS开关的射频衰减器设计方案。首先对整体电路的基础结构进行了设计,选择以CPW(共面波导)为传输线,接触式MEMS开关作控制器件,同时以开关中的电容作为断路时的平衡电容进行Q值匹配;其次,通过理论推导与计算得到了波导的截面尺寸;然后按所需衰减量计算T型网络各个电阻的阻值大小。再按照计算值在CST微波工作室中建模仿真,对比单级衰减和展频二级衰减的S参数,可以发现,在Q值匹配后的电路...
新型电容式MEMS加速度计数字接口电路设计
接口电路 MEMS Sigma-delta ADC
2016/12/26
MEMS加速度计接口电路主要采用传统sigma-delta架构实现,但这种方式中的电路失调电压很容易产生积分饱和现象.为解决这个问题,本文设计了一种可以用于钻井、石油勘探等微弱信号检测的新型数字电容接口电路.该设计在电容式MEMS加速度传感器基础上,采用FPGA实现数字三阶环路滤波器,构成5阶sigma-delta系统.采用数字环路滤波器降低了ASIC模拟电路版图设计与芯片测试难度,利于快速优化环...
2014 IEEE 27th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
2014 IEEE 27th International Conference Micro Electro Mechanical Systems MEMS
2014/1/20
This Conference reflects from the rapid proliferation of the commitment and success of the Microsystems research community. In recent years, the IEEE MEMS Conference has attracted more than 700 partic...
研究人员制备成功RF MEMS振荡器(图)
研究人员 制备 RF MEMS振荡器
2014/1/8
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心,在自然科学基金、中科院项目的支持下,经过努力探索,制备成功RF MEMS振荡器。
基于MEMS工艺的高增益低副瓣太赫兹波纹喇叭天线设计
太赫兹 微电子机械系统(MEMS)工艺 喇叭天线 波纹开槽 Terahertz (Thz) Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS) Technology Horn Antenna Corrugated Groove
2014/7/4
本文提出了一种基于微电子机械系统(MEMS)工艺的高增益低副瓣太赫兹波纹喇叭天线设计方法。利用三维全波有限元电磁仿真软件Ansys HFSS,对角锥喇叭的波纹开槽尺寸和条数进行参数分析和优化设计,获得了在275 GHz至580 GHz的有效带宽内(回波损耗小于10 dB)增益超过8 dB和副瓣电平小于−13 dB的太赫兹波纹喇叭天线。结果表明波纹开槽可有效提高太赫兹喇叭天线增益并压低副...