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基于MEMS工艺的异性材料定向天线
天线 MEMS 谐振腔 异性材料
2014/5/15
制备了一种基于MEMS工艺的定向天线。以异性材料为基底的亚波长谐振腔结构有效降低了天线体积。这种天线可以用于要求高能量密度的微系统的能量传送。本文中的天线厚度为1.5 mm，可工作于10 GHz频段。这使得其易于与微系统集成。文中也给出了仿真及实验的结果，并介绍了天线的加工过程。