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弯扭耦合影响的MEMS扭转谐振器件中的热弹性阻尼
MEMS 热弹性阻尼 弯扭耦合 谐振器件
2014/8/7
热弹性阻尼作为一种基本的能量耗散机理，对高质量因数的MEMS谐振器件有着重要的影响。因为纯扭转振动不产生热弹性能量耗散，所以过去很少有文献涉及到扭转器件中热弹性阻尼。但是，静电驱动的扭转谐振器件中通常存在弯扭耦合现象，其中弯曲振动的部分不可避免的产生热弹性阻尼。针对具有弯扭耦合的MEMS扭转谐振器件，给出一种热弹性阻尼解析模型。首先考虑弯扭耦合效应，利用MEMS扭转谐振器件的静态平衡方程和动力学方...