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中国科学院声学研究所专利：一种U形槽悬臂梁结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法
中国科学院声学研究所专利：具有串联结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法
中国科学院声学研究所专利：一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法
根据国内对高灵敏度、低频小体积三维矢量水听器的需求，提出了一种仿鱼侧线纤毛的MEMS三维矢量水听器。该水听器采用多纤毛结构分别用来接收X、Y与Z方向的声信息，采用ANSYS进行仿真，静力分析得出了布放压阻的合理位置,谐响应分析得出该结构的固有频率在1.5KHz左右；驻波桶校准测试结果表明：该水听器的灵敏度范围在-200dB到-180dB左右；在25Hz-2000Hz频段内具有良好的频响特性；指向性...

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