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应用CVD金刚石涂层工具研磨单晶蓝宝石
化学气相沉积(CVD)金刚石涂层 研磨 蓝宝石 晶粒形态
2016/7/22
通过热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了具有球状晶结构、棱锥形晶结构和棱柱形晶结构等3种不同表面特征的化学气相沉积(CVD)金刚石涂层工具,以提高其研磨效率。通过正交实验法研究了金刚石涂层晶粒形态、载荷、工作台转速、研磨时间等4个工艺参数对蓝宝石材料去除率和表面粗糙度的影响。结果表明:金刚石涂层的晶粒形态对材料去除率和表面粗糙度影响较大;球状晶结构金刚石涂层切向力较小,棱柱形晶结构金刚石涂层切向...
CVD法SIC纤维表面碳涂层结构的拉曼光谱研究
化学气相沉积 碳涂层 拉曼光谱 微观结构
2012/12/7
采用激光拉曼光谱仪和扫描电子显微镜对以Ｃ２Ｈ２＋Ｈ２ 和Ｃ２Ｈ２＋Ｃ３Ｈ８＋Ａｒ为反应气体，通过直流加热化学气相沉积工艺在ＳｉＣ纤维表面制备的碳涂层的微观结构断口形貌进行了研究。结果表明，两种碳涂层的拉曼光谱中１３５０，１４００～１５００和１６００ｃｍ－１附近均观察到Ｄ，Ｄ”和Ｇ特征峰的存在。碳涂层具有类似石墨的片层结构，结构中微晶的排列显示出一定的无序性，并含有少量非晶态碳。随着沉积温度的升高，...
CVD-SiC纤维的拉曼光谱研究
SiC纤维 钛基复合材料 拉曼光谱 热残余应力
2012/4/13
采用激光拉曼光谱对单根CVD-SiC纤维进行了研究，并与SiCf/Ti-6Al-4V复合材料中SiC纤维的拉曼光谱进行对比分析。发现SiC纤维的第一沉积层的TO峰峰形尖锐，表明SiC晶粒较大，第二沉积层的晶粒较小，在二个沉积层中分别检测到碳和硅的拉曼峰。在复合材料中，SiC纤维的TO峰向高波数偏移，表明复合材料在制备过程中，因SiC与基体钛合金的热膨胀系数不同而使纤维受到热残余压应力的作用。通过计...
CVD-SiC纤维的拉曼光谱研究
SiC纤维 钛基复合材料 拉曼光谱 热残余应力
2012/4/19
采用激光拉曼光谱对单根CVD-SiC纤维进行了研究，并与SiCf/Ti-6Al-4V复合材料中SiC纤维的拉曼光谱进行对比分析。发现SiC纤维的第一沉积层的TO峰峰形尖锐，表明SiC晶粒较大，第二沉积层的晶粒较小，在二个沉积层中分别检测到碳和硅的拉曼峰。在复合材料中，SiC纤维的TO峰向高波数偏移，表明复合材料在制备过程中，因SiC与基体钛合金的热膨胀系数不同而使纤维受到热残余压应力的作用。通过计...
Atmospheric Pressure Deposition of Silica Thin Film by Photo-CVD Using Vacuum Ultraviolet Excimer Lamp
Excimer lamp Silica thin film TEOS
2009/6/8
It has been known that thin silica films can be deposited from TEOS {Si(OC2H5)4} by means of the photo-CVD (Chemical Vapor Deposition) technique using vacuum ultraviolet (VUV) light (VUV-CVD) at room ...
Fabrication and electrochemical properties of diamond layers grown on tungsten wire by HF CVD method
CVD diamond diamond cyclic voltammetry
2011/5/11
Un-doped polycrystalline diamond thin films have been grown on tungsten substrates by hot filament chemical vapor deposition (HF CVD) using a hydrogen and methanol vapor mixture. Diamond films have be...
Electron paramagnetic resonance and scanning electron microscopy characterization of diamond films fabricated by HF CVD method
hot filament chemical vapour deposition (HF CVD) diamond
2011/5/11
Defects in diamond films, produced by the hot filament chemical vapour deposition (HF CVD) of methanol and hydrogen mixture as function of gas composition, were investigated by electron paramagnetic r...